二手 NIKON NSR 1755 G7A #9165602 待售

NIKON NSR 1755 G7A
ID: 9165602
晶圆大小: 6"
Steppers, 6".
NIKON NSR 1755 G7A是一种高性能晶圆步进器,专为广泛的光刻和掩模对准应用而设计。它旨在满足高质量光刻工艺的要求,具有无与伦比的精确度和工艺控制。NIKON NSR-1755G7A能够产生高度均匀性的亚微米分辨率模式。NSR-1755 G7A是一种高速设备,配备1.3数值孔径可还原投影镜头,5000瓦高功率汞弧曝光源,以及先进的曝光控制器,提供高达125,000次曝光/小时的精湛光学成像。此外,系统融合了NIKON多波长曝光功能,允许在不同波长设置下同时曝光多层。NSR 1755 G7A还配备了先进的对准系统,以确保高度准确和精确的结果。这包括一个双频率、双激光晶片对准单元。本机利用反射检测提供高速处理,同时保持高度对准精度。NSR-1755G7A还提供全方位的曝光自动化和过程控制功能,以确保可重复性和一致的结果。NIKON NSR-1755 G7A配置性强,有许多可用的选项和附件。其中包括用于过程监控的高级数字盲曝光工具、用于比传统方法更高精度的视觉对准资产、用于高分辨率功能的专用掩码,以及用于提高吞吐量的可选电动晶片传输模型。此外,NIKON NSR 1755 G7A可用于低压多层器件技术、高纵横比干蚀刻、致密接触viahole掩蔽、高介电屏障层沉积等先进半导体制造工艺。简而言之,NIKON NSR-1755G7A是一种强大可靠的晶片步进器,能够产生高通量和出色工艺控制的亚微米分辨率模式。凭借其先进的对准和曝光系统、高分辨率成像以及广泛的自动化功能,NSR-1755 G7A为各种应用程序提供了卓越的准确性和可重复性。
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