二手 NIKON NSR 1755 G7A #9412475 待售

NIKON NSR 1755 G7A Wafer Stepper是专门为高级光刻工艺设计的高精度投影对齐器。此步进器是NIKON系列高级光刻系统的一部分,具有高分辨率的单次曝光功能。NIKON NSR-1755G7A具有NIKON NSR™光学和先进的对准检测技术,可实现卓越的成像、高精度和可重复性。NSR-1755 G7A具有从深紫外线到18 μ m波长的光刻工艺能力，是从微光刻到先进光刻等多种工艺的理想选择。步进器能够处理各种基板格式，并提供较大的聚焦深度。这台机器具有高吞吐量和高精度,可以为关键应用程序提供准确的结果。NSR 1755 G7A Wafer Stepper采用NIKON先进的光学设备,NSR™光学设备,采用低失真系统,可实现非常高的精度和重复性。该单元由内置的波前校正机构以及补偿控制和图像工程实现,从而产生具有高速和均匀成像的高度精确的各向同性成像。此外，机器允许非常高的吞吐量和更短的曝光时间。除了NSR™光学之外,NIKON NSR-1755 G7A还提供卓越的对准和配准技术.利用这种最先进的NIKON对准检测技术，步进器可以利用四像对准和成像比较系统，精确准确地检测晶圆位移。同时，该机的模模覆盖精度为0.25微米，非均匀性小于0.10微米。这种步进器结合高数值孔径值和高聚焦深度，为先进的光刻工艺提供高精度成像。NSR-1755G7A晶片步进器是一种精密工具，为先进的光刻工艺提供卓越的分辨率和精度。从可靠的NSR™光学到先进的对准检测技术，这种步进器提供了高度精确的成像，图像失真最小。NIKON NSR 1755 G7A具有高吞吐量、高分辨率和可靠性,是各种光刻应用的理想选择。