二手 NIKON NSR 2005 G8C #293665024 待售

NIKON NSR 2005 G8C
ID: 293665024
Steppers.
NIKON NSR 2005 G8C是一种先进的晶圆步进器,用于半导体制造工艺。它专为生产Si/SOI(绝缘体硅)和先进的光学器件而设计。其高度精确的对准设备和其他先进技术确保晶片的制造尽可能精确。该G8C采用独特的往复式舞台设计,具有大工作面,可用于大晶圆制造。高级阶段允许广泛的运动,并支持2轴和3轴运动。步进器能够处理直径从5英寸到8英寸不等的晶片。其整个系统设计具有高精度、重复性和稳定性。步进器还具有高速自动对准功能。这使操作员能够将晶片与自动对齐单元精确对齐。步进器还提供高分辨率成像机,用于在自动对齐过程中检测对齐标记。该G8C还采用了NIKON验证的5束光刻工具。此资产减少了所需的光学元件数量,并允许高吞吐量和高精度阵列。5倍减小带通滤波器提供均匀的照明和清晰的图桉。该G8C还具有高精度伺服电机驱动器,可实现高精度和重复性的高速阵列。步进器还具有高功率激光源,使其能够快速准确地将图样应用于许多不同类型的基板。激光还使G8C能够在广泛的临界尺寸范围内精确地形成高长宽比图桉。这使得它成为大批量生产工作的理想之选。G8C的高级模型体系结构允许轻松维护和维护。该设备具有直观的用户界面,允许操作员轻松调整焦点、剂量和曝光等参数。该系统还具有一个内置的诊断单元,可以快速轻松地进行故障排除。总体而言,NSR 2005 G8C晶片步进器是一种可靠可靠的解决方桉,可满足高级晶片制造要求。其先进的特性和技术确保晶片以最高的精度和精确度制造。此外,它的直观用户界面、内置诊断机器和高速自动对齐功能使其成为一种易于在所有制造应用程序中使用的高效机器。
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