二手 NIKON NSR 2005 i10C #9261832 待售

NIKON NSR 2005 i10C
ID: 9261832
晶圆大小: 4"-6"
Stepper, 4"-6".
NIKON NSR 2005 i10C Wafer Stepper是用于制造半导体器件的生产级光刻设备。这种光刻系统是被称为扫描仪的大型工具的一部分,通过放大和以极高的放大倍率拍摄芯片的各个层来实现高精度。NIKON NSR 2005I10C Wafer Stepper是着名的NIKON NSR 2005 i9C系列的光骨版,适用于预算敏感的量产工厂。这是一个空间和经济高效的单位,使它成为一个理想的选择狭窄的空间操作。此外,步进器的特点是有许多进步,以确保更好的操作,如脉宽调制焦点补偿,并发光学对准,以及改进标记场重建。NSR-2005I10C Wafer Stepper是一台能够涵盖制造集成电路所需的所有主要步骤的机器,包括光掩模曝光、对准和覆盖、波形控制和数据采集。该工具装有12 ″ x 12 ″级,使资产能够处理6个″和8个″晶圆尺寸,框架尺寸为5,796毫米x 4.455mm。此外,机器还可以处理A型、B型和C型抗蚀性涂层,其最小射速为95nm/s。为了提高操作员的安全性,该模型符合振动分类设备等级2,从而确保系统能够在噪音保护的环境中运行。该机还具有方便的显示模式、正常和弹出模式,并具有灵活的传输接口,便于使用各种类型的晶圆适配器的载波。在光学方面,NIKON NSR-2005 I 10 C晶圆步进器装有能在紫外线和红外范围内工作的大孔径照明单元。这允许高能曝光,即使在长焦距。此外,该机还配备了高速重迭图像采集设施,可实现快速准确的对准和迭加精度。此外,精确的精细聚焦调整可以快速执行。NIKON NSR-2005I10C Wafer Stepper是制造各种类型半导体器件的高效可靠的工具。其先进的光刻技术和紧凑的设计使得它成为许多不同类型的生产级应用的一个有吸引力的选择。此外,资产确保了所有流程的精确准确性,并符合最新的安全条例。
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