二手 NIKON NSR 2005 i8A #9159993 待售

NIKON NSR 2005 i8A是由NIKON Precision Inc.于2005年开发的亚微米、狭缝型晶圆步进器。步进器基于公司专有的场透镜浸没技术，经过优化，支持包括小型化半导体和纳米加工工艺在内的广泛应用。NIKON NSR 2005I8A配备了两组镜头，它们协同工作以放大图像或图样并减少像差。第一组由非光束分割的场透镜组成，旨在为成像提供平坦的波前。这些透镜还能最小化内场曲率，实现均匀和高分辨率的成像。第二组由辅助透镜组成，它们使用反射镜在曝光阶段正确聚焦来自现场透镜的光。步进器还配备了VCM（可变质心）系统，该系统能够快速和高度精确地调整曝光能量和聚焦位置，允许亚微米特征的精确曝光。此外，NSR-2005I8A有一个内置的曝光控制系统，精确调节光线模式，确保曝光能量的高均匀性和可重复性。NSR 2005I8A还具有独特的舞台设计。步进器使用双级配置,允许在晶圆平面内快速精确地定位。这样可以在曝光周期内实现更快的吞吐量和更高的准确性。此外，步进器还配备了真空卡盘，用于可靠的晶片夹紧和温度控制器，用于均匀的晶片温度。总体而言，NSR 2005 i8A是一种可靠和高性能的晶圆步进器，适用于半导体和纳米加工工艺的广泛应用。步进器的双级设计、现场镜头浸入式技术和曝光控制系统，使亚微米特性的曝光准确、均匀。