二手 NIKON NSR 2005 i8A #9250072 待售

NIKON NSR 2005 i8A晶圆步进器是半导体制造中先进光刻工艺所需的关键设备。它是一种精密的机器，能够在薄基板上产生极小的特征。NIKON NSR 2005I8A由主机、对准台、投影光学设备和曝光源组成。主机由真空密室、进料和分级臂以及机动定位级组成。真空密室保护舞台免受空气污染，这会影响暴露过程的精度和装置产量。室内是曝光源，由臭氧或深紫外线两个照明源之一组成。曝光源的选择将取决于所使用的曝光罩类型。例如，在使用石英制成的曝光面罩时使用深紫外线。NSR-2005I8A投影光学系统由一系列透镜和反射镜组成，为所需的器件层提供必要的放大和聚焦参数。对光学器件进行了优化,以提供可实现的最高分辨率级别和特征尺寸。NSR-2005的对齐阶段I8A使用精密编码器和伺服电动机来引导X、Y和θ平面中的阶段。这些阶段校正对于保持模具对模具放置的准确性和对齐的关键特征至关重要。NSR 2005I8A旨在通过提供最高级别的可重复性和准确性来提高设备产量和设备公差。它的特点包括高分辨率成像、高效率的吞吐量和先进的过程控制单元，以保持敏感暴露过程的稳定环境。步进器利用自动视线对准机，可以检测和校正错位，并监控基板均匀性，以确保每次都能生产出质量最高的零件。总体而言,NSR 2005 I 8晶圆步进器是一种非常宝贵的先进光刻设备,为半导体行业提供高速、精确和可重复性。这种先进的工具能够在极薄、细腻的基板上创建最复杂的图样，否则传统方法将无法生产。