二手 NIKON NSR 2005 i8A #9275351 待售

NIKON NSR 2005 i8A
ID: 9275351
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
Wafer steppers, 8" 1994 vintage.
NIKON NSR 2005 i8A Wafer Stepper是一种集成的光刻设备,具有卓越的性能和可靠性。它是一种高精度的大型系统,可用于处理直径不超过8英寸的晶片的步进和扫描光刻。它能产生高质量的成像,非常适合低压和纳米级器件的高级制图。NIKON NSR 2005I8A使用两个透镜单元进行光刻。双级还原物镜用于成像具有大直径场的晶片,而高清变焦镜则可用于较小直径场。物镜提供0.9的高数值光圈和大视野。变焦镜头提供了一个令人难以置信的大范围的观察在大场可靠对准。变焦镜头配有高分辨率数码相机和自动对焦功能,可用于各种波长的优越成像。NSR-2005I8A提供一流的速度和准确性。它实现了0.5微米的精细机械分辨率,凭借其先进的轴线数字化能力,能够轻松处理大规模的迭加和配准任务。NSR 2005 I 8A具有快速、低延迟的扫描控制机器,可最大程度地减少运行过程中的粒子运动。交付工具提供高精度的重复性和低振动,使测量精度和优越的覆盖。NSR 2005I8A Wafer Stepper提供了一系列先进的成像技术。可用于多种应用,如高分辨率显微镜成像、低压光掩模检查、纳米尺度光刻和光刻。还有几种软件功能可用于进一步增强流程功能,包括高级优化例程和通用掩码数据管理工具。除了成像能力外,NIKON NSR 2005 I 8 A还配备了多种安全保护功能。它具有延伸到整个视野的抗反射资产、外部真空连接端口、紧急停止开关、闭环温度控制和内置冷却风扇。这些特性使尼康NSR-2005 I8A市场上最可靠的晶圆步进器之一。
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