二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293602539 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一种晶圆测试和计量设备。用于测量微电子和光电元件的临界尺寸、粗糙度和层厚。该系统能够进行光学和X射线分析，并利用自动晶圆映射和全面的晶圆缺陷分析。其Quantum （4D）光学反射计结合了偏振、光谱和角度扫描，提供了最大的灵活性和覆盖范围。其X射线单元使用可伸缩的双轴龙门，快速准确地收集高分辨率测量。KLA ALPHASTEP 200旨在通过提供多种元素收集方法的信息来减少分析时间和相关成本。它可以分析各种晶圆形状，从圆形到难以进入梯形，也能够一次收集关键的多层信息。此外,它的自动聚焦和缩放在光学上进行调整,以获取满足客户规格要求的数据。TENCOR ALPHA-STEP 200的临界尺寸（CD）测量可以用光学或X射线进行。光学选项使用宽范围的放大倍率和可变的照明方向,而X射线选项则使用可扩展的两轴龙门结构,该结构在晶圆表面动态移动。X-Ray机器有助于实现2-10nm的精度,并且可以测量到0.2µm以下的特征。它还可以解决低至5nm的特征壁的高度差异。KLA/TENCOR ALPHASTEP 200还能够进行原位层厚度（LT）测量。此功能用于防止层相声、变色以及其他设备可靠性问题。此外,其粗糙度（R）图特征使用光学或X射线工具来测量晶圆表面上的平均峰谷粗糙度。总体而言，ALPHA-STEP 200是用于微电子和光电元件的先进晶圆测试和计量资产。它结合了光学和X射线分析,提供了一系列准确而全面的功能。它的自动化功能和全面的缺陷分析有助于降低成本,并提供卓越的过程理解,从而实现高质量、可靠的产品。