二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #293652814 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一种精密的晶圆测试和计量设备，其设计目的是对一系列半导体材料进行快速而准确的测试。该系统是一个全自动解决方桉,为晶片的直接物理和化学分析提供了全面的参数,包括平坦度和表面地形、沟槽深度、IC角边倒角和轮廓、覆盖、侧壁角度、外形尺寸和边缘粗糙度。KLA ALPHASTEP 200围绕自动化x-y级构建,利用表面点分析精确测量晶圆材料的物理和电气特性。因此,它在各种工业过程中提供晶片的全面测试,确保产品满足要求,并能够快速安全地交付。TENCOR ALPHA-STEP 200提供两种传感系统-光学和压电。其光学单元是具有先进磁性和激光技术的创新三波长传感器；从而可以精确地表征侧壁层轮廓、沟槽边倒角、外形尺寸、线宽等重要几何形状和边缘粗糙度。第二传感机Piezo使KLA ALPHA-STEP 200能够分析晶圆微结构。利用空气承载表面捕捉小表面特征，该工具能够检测各种特征，包括覆盖精度、线条、宽度和规则空心。此外,它还可以测试板材电阻、接触电阻和接头深度等电气特性.TENCOR Alpha Step 200还提供了一系列自动化功能，使用户能够快速评估和分析晶圆。资产包括模式识别算法，可以自动定位缺陷，分析其位置，指示其位置和类别，并启动适当的纠正行动。此外，该模型还提供了一个测试数据库，可以与测试材料进行比较，以确保测试材料符合规范。这可以帮助用户更快地获得准确的结果,从而为他们节省时间和金钱。综上所述，TENCOR ALPHASTEP 200是一种功能强大的晶圆测试和计量设备，为晶圆材料的直接理化分析提供了全面的参数。该系统具有两个先进的传感系统和一系列自动化功能,使用户能够快速评估和分析各种工业流程,以确保产品认证和安全交付。