二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9124963 待售

ID: 9124963
Profilometer vertical measurement system Ranges: auto ranging up to +/- 160 KA or 160 um –20 to 50 A, Resolution: Vertical: 5A with +/- 160 KA 400 A Stylus radius standard: 12.5 um or 5.0 um Stylus tracking force adjustable between 1 and 25 mg Precision X-Y stage X-Axis 100 mm Y-Axis 81 mm Z-Axis 21 mm Largest sample size 162 mm.
KLA/TENCOR Alpha Step 200是为半导体制造而设计的先进晶圆测试和计量设备。KLA ALPHASTEP 200具有精确度和精确度、集成自动化以及广泛的数据分析功能,提供了业界领先的分析功能,制造商需要这些分析功能才能在各种过程中保持设备的最高质量。TENCOR ALPHA-STEP 200包含了一个详细的晶圆图,可以让它准确地测量微小的特徵或複杂的缺陷,可以用来快速识别和修正生产错误。TENCOR ALPHASTEP 200具有双轴、双位置的三维级,允许它同时查看、移动和扫描晶圆。舞台的精度和精确度非常适合测量小特征、缺陷和其他特性。Stage还能够进行高速CMP测量,这对于检测晶圆表面的微小变化非常有用。KLA/TENCOR ALPHASTEP 200还包括一个高分辨率成像系统,可以对晶圆的大面积进行精确分析。此外,该单元使用新颖的深度学习算法自动识别和分类不同类型的缺陷。KLA ALPHA-STEP 200还包括一套全面的软件,使高级数据分析和控制功能成为可能。软件包括功能强大的校准工具,允许用户在保持精确结果的同时调整晶圆测试和计量操作设置。ALPHASTEP 200生成的数据可用于跟踪生产趋势和优化生产流程。此外,软件还可以生成详细的报告和图形,用于进一步分析数据和确定制造问题。总体而言,ALPHA-STEP 200是一种最先进的晶圆测试和计量机器。其精确、准确的定位和成像系统,以及广泛的软件功能,使其对于在各种流程中维护高质量的设备至关重要。此外,该工具的详细晶圆图、自动缺陷检测和分类以及高级报告功能使制造商能够快速识别和解决生产问题。
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