二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9253861 待售

KLA / TENCOR Alpha Step 200
ID: 9253861
Surface profiler.
KLA/TENCOR Alpha Step 200是一种自动化晶圆测试和计量设备,设计用于非接触面和计量分析。该系统以自动晶圆处理单元、AFM(原子力显微镜)模块、光学模块和软件运行。自动晶片处理机设计用于处理直径达200毫米的晶片,采用机械臂机构和自动聚焦工具。这使得它适用于范围广泛的晶圆尺寸和材料。AFM模块用于晶圆的表面分析以及3D成像和映射。它由一个由电机驱动的两轴级组成,具有集成的显微镜和控制器。此模块可实现高分辨率和高精度的精密表面测量。光学模块是为接触和非接触表面分析而设计的,其中还集成了高分辨率成像资产。具有测量薄膜厚度、表面粗糙度和石英晶体微平衡等各种计量参数的能力。该模型还可以进行共聚焦显微镜和暗场显微镜等分析和光学测量技术。与设备关联的软件使用户可以访问功能强大的图像分析、报告和数据库功能。它提供了几种适合不同应用和使用的测量模式。能够选择软件参数,如分辨率、采样面积、速度和对比度选项,使得这个系统非常通用。总共,KLA ALPHASTEP 200为用户提供了一个可靠准确的晶圆测试和计量单元。它结合了自动晶圆处理、AFM模块、光学模块和功能强大的软件,使用户能够执行广泛的测试,包括表面分析、3 D成像、化学表征和薄膜测量。这台机器既适用于研究,也适用于工业层面的应用,使其成为任何一个希望进行精确晶圆计量的实验室的绝佳选择。
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