二手 KLA / TENCOR Alpha Step 200 #9289904 待售

KLA/TENCOR Alpha Step 200是一种晶圆测试和计量设备，专门设计用于表征晶圆和器件结构在纳米尺度上的特性。该系统采用扫描电子显微镜（SEM）、原子力显微镜（AFM）和表面剖面技术的组合运行。该单元具有高分辨率的单色成像机,具有可靠的设计,可提供可靠和一致的图像质量。成像工具包括60kV二次电子检测器和光学SIM、SEM、SEM/AFM等多种成像模式。利用高效的EDS检测器，提供优异的灵敏度、优异的空间分辨率和快速的X射线光谱无源多通道采集，分析晶圆的组成。该资产提供了一个自动化和用户定义的样本导航模型，允许对晶圆进行快速、非接触式成像。它还具有高速、多轴自动对焦设备,无需用户干预即可实现高度精确和可重复的成像。该系统允许为各种类型的测量自动选择成像参数，并允许与KLA Spectra和Polarimetric晶圆分析仪完全集成。KLA ALPHASTEP 200提供了许多其他功能,旨在改进晶圆特性。它提供了一个亚纳米参数数据处理单元，可以提高测量精度以及自动晶圆分析。该机还能够优化光谱采集、存储和可视化。此外,该工具还包括用于分析数据、确定可重复性以及允许与其他系统快速共享结果的处理器和软件包。TENCOR ALPHA-STEP 200符合SEMI、PIES和Imec等行业标准,使其成为一系列应用程序的理想选择。凭借其强大的设计和先进的功能,该资产为纳米级表征提供了强大的解决方桉。