二手 KLA / TENCOR P2 #9163528 待售

ID: 9163528
Wafer inspection system.
KLA/TENCOR P2是为半导体工业开发的晶圆测试和计量设备。它旨在对各种样品材料(如GaAs、SiGe和SiC晶片)上的过程变量以及MEMS和纳米级成像样品进行精确测量。它能够对半导体基板的物理尺寸和电气特性进行测量。该系统采用高分辨率成像、深沟蚀刻、集成光学诊断和车载计算机的组合,测量地形、表面形态、掺杂、电阻率和指定电导率等晶片的详细参数。该单元能够拍摄晶片的高分辨率图像,同时提供晶片的详细物理和电气参数,简化晶片的测量和表征过程。该机器配备了先进的软件和硬件接口技术,可轻松集成到现有的制造基础架构中。这包括以太网端口、智能主机控制和一套映像分析软件等功能。该工具能够测量各种过程变量来测量电容、阻抗、相移和阻抗等电特性。该资产专为高吞吐量和准确性而设计,能够在单个分析会话中对许多不同类型的半导体组件进行深入分析。它还配备了先进的校准和校准管理能力,并允许测量小型特征尺寸。该模型所使用的数学算法允许对电气特性和性能数据进行非常精确的计算,以便进行精确的测量和分析。此外,设备支持最新的统计过程控制(SPC)方法,可用于发现产品过程变化并快速采取纠正措施。系统附带的软件支持数据分析、报告生成和对过程变量的密切监视。总体而言,KLA P-2是一个先进的晶圆测试和计量单元,旨在提供对各种半导体元件的过程变量的精确测量。它建立在先进的成像和分析技术之上,非常适合对晶片和其他组件进行深入分析。该机具有高度可定制的特点,可用于统计过程控制和准确测量电气特性。
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