二手 NANOMETRICS Atlas #9271278 待售

NANOMETRICS Atlas是一种先进的晶圆测试和计量设备，利用获得专利的二维共聚焦扫描技术来捕获整个晶圆表面的微观详细地形和分析结构特征。该技术的工作原理是使用固定光学系统以高分辨率扫描晶片，从而能够精确测量高度小于纳米的结构。设备中使用的光学元件以专门设计的方式进行配置,以最大限度地提高其检测大面积小特征和变化的能力。通过这样做，Atlas可以比同类中的任何其他仪器更准确、快速地测量半导体晶片的复杂模式特征。该机器采用独特的5轴自动化工具,包括一个获得专利的"倾斜扫描"模块,该模块允许动态倾斜阶段运动。这样可以确保所有晶片表面特征（不论大小或位置）都以更高的精度进行测量。资产还包括一个完全集成的电动采样级，运动范围从0°到100°倾斜角度。3维映射功能使NANOMETRICS Atlas能够一次计算多个地形表面,并为用户提供对样品表面状况的前所未有的洞察。加上高度集成的软件,Atlas为用户提供了一个通用的解决方桉,可快速准确地生成可靠的数据和宝贵的信息。此外，该模型只需要最低限度的用户手动调整，即使对于计量知识有限的操作员也很容易使用。NANOMETRICS Atlas是晶圆制造行业质量保证的重要工具,因为它可以快速提供有关样品表面状况和特征的准确信息。它独特的高级光学、自动化采样阶段和高度开发的软件组合确保了对其提供的数据的无与伦比的信心。