二手 OKURA DP 2301A01 #9227172 待售

OKURA DP 2301A01
ID: 9227172
晶圆大小: 8"
Digital profilers, 8".
OKURA DP 2301A01晶圆测试和计量设备是一种先进的测试和计量工具,用于测量广泛的半导体晶圆性能。该工具允许在制造过程中对晶片进行快速计量和内联测试。它采用模块化设计,允许最多四个计量头和两个探头以纳米精度同时测量整个晶圆表面。该系统可精确测量线宽、空间宽、电压阈值、波形、阻抗等各种电气参数。此外,该单元还容易与主要工艺控制系统集成,为生产作业提供自动化反馈。DP 2301A01机包括一个多轴运动阶段与一个整体扫描头。这确保了计量头的高精度运动,在扫描整个晶圆表面时将精度保持在10纳米误差范围内。该工具还提供每秒50米的扫描速度以及扫描200毫米大小的晶片的能力,该晶片具有多达4个计量头和两个探头。资产的集成控制软件允许针对晶圆的特定需求量身定制全面的测试程序。它具有用于数据采集、信号处理和计量头校准的硬件和软件库。此外,它还包含用于晶圆处理和过程集成的I/O控制、实时控制和可适应的过程自动化,以及功能齐全的报告功能。OKURA DP 2301A01模型还提供用于存储计量结果的综合数据库管理。这允许用户监视晶圆性能随时间推移的趋势并获得详细的缺陷跟踪。它还允许存储过程跟踪、跟踪生成和统计控制。此外,该设备还包括各种安全和诊断功能,以保护硬件和软件完整性,并确保系统正常运行。总体而言,DP 2301A01晶圆测试和计量单元是一个非常先进的工具,旨在产生非常准确和可靠的结果。它的模块化结构和先进的软件功能使其成为满足半导体制造商和研究实验室晶圆测试和计量需求的强大解决方桉。
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