二手 RUDOLPH S3000 #9389592 待售

RUDOLPH S3000
ID: 9389592
Thickness measurement system EFEM.
RUDOLPH S3000晶圆测试和计量设备是一种高端自动化解决方桉,设计用于半导体和光电行业的测试和计量应用。S3000系统为快速、准确的测试、计量和分析提供了一个软件和硬件无缝集成的平台。该软件能够管理、分析和呈现具有最高吞吐量的内联和自动化生产测试和计量应用程序的数据。RUDOLPH S3000单元具有多轴高通量探测机。该工具可以定制,以适应各种晶圆探测应用,包括探测静电放电(ESD)、电气测量、微应力工程、应力测试和半导体晶圆探测测量。该资产还配备了易于配置、完全集成的软件应用程序,使用户能够快速编程测量协议。S3000模型与瑞士制造的精密线性执行器相结合,在X、Y和Z轴上提供精确、低噪声、低振动的探测运动。这提供了更好的探测精度和可重复性。该设备还具有更高分辨率的3轴敏感触觉探头,设计用于高精度测量。位置控制的线性执行器允许系统在任意角度和方向上以精确定义的距离步长穿越晶片,而光学编码器则可确保在晶片表面上进行精确的非接触扫描。该装置配备了先进的成像、测量和分析工具,用于各种基材上的横截面晶圆测量应用。它具有广泛的计量和分析算法库,用于对所有类型的半导体晶片进行映射、检查、成像和校准过程以及产品几何。RUDOLPH S3000机支持标准和定制设计的探针卡和模块以及晶圆适配器和平板电池。它还能够轻松地与其他领先的桌面计量学系统(如Carl Zeiss MMS 5500)集成。这确保了数据的快速实施和无缝协调。S3000工具是高度可定制的,具有一系列软件和硬件组件,可以选择这些组件来满足许多不同项目的要求。这种高度的灵活性使得RUDOLPH S3000非常适合各种应用,例如测试晶片的电性能、应力和其他特性、计量分析以及对生产过程的监控。
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