二手 AMAT / APPLIED MATERIALS CENTURA #9188258 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆是一种多用途设备，设计用于处理先进材料，如硅、砷、钛。它用于各种类型的半导体加工，包括快速热处理（RTP）、化学气相沉积（CVD）、原子层沉积（ALD）、光致抗蚀剂剥离和热氧化。这个系统能够在各种工艺条件下操作，并且可以支撑直径从100毫米到300毫米不等的基板。AMAT CENTURA反应器由两个独立的室组成：锁载室和工艺室.该锁载室用于快速装卸基板进出加工室。它也被用于保护工艺室不受颗粒和污染物的影响，使用真空单元可以快速抽出任何不需要的材料。该工艺室用于基板的实际加工，具有可调压力、温度和其他工艺参数。APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆具有专有的EFC（端点快速循环）功能,它使机器能够在几秒钟内（而不是典型的分钟）到达过程端点。此功能节省了时间和金钱,使操作员能够快速优化各种工艺参数以实现最高效率。反应堆还利用无臭氧加热元件，提供精确的温度控制和室内的均匀加热。这确保了所有基板都受到完全相同的工艺条件，从而产生一致、高质量的半导体生产。除这些特性外，CENTURA反应堆还利用了专利多区冷却工具。该资产有助于优化腔室的冷却速率，使腔室能够响应工艺参数的变化而快速调整。该模型还有助于降低粒子污染、电子故障和其他潜在问题的风险。AMAT/APPLIED MATERIALS CENTURA反应堆是半导体工业中最可靠、最先进的生产工具之一。它是需要精确、安全、可重复结果的研究机构、大学和工业用户的理想选择。该反应堆具有尖端特点，能够以优异的效率和可靠性处理各种材料。