二手 ASM A 412 #9137395 待售

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製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9137395
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Vertical LPCVD furnace, 12" P/N: 2E0082-06-01 CIM: E84, SECS/GEM, GEM300 Nitride furnace (2) Ports Protocol zone: FEOL SMIF Handler Chamber 2011 vintage.
ASM A 412是一种用于半导体生产等工业应用的扩散炉。为400毫米垂直炉,多区设计,生产灵活,吞吐量更高。该炉还具有节能技术和改进的热均匀性。炉的温度范围为250°C-1250°C,加热元件由高温合金制成。该炉还配备了全自动化的过程可重复性和可靠的操作。ASM A412的主要部分是床板、入口和出口系统、车身、盖子和供热元件的电源。床板是炉座,由高档铝合金制成,最大耐用性。入口和出口系统的设计是为了最大程度地均匀地加热基板。炉体采用陶瓷纤维制成的隔热材料和不锈钢制成的外板双壁。盖子由不锈钢制成,具有密封的外壳,带有两个视图端口和一个加固的起重手柄。A 412的加热元件由粉末涂层的碳化硅棒组成。元件使用可调节且稳定的低压直流电源进行精确控制。电源通过内置的安全调节保护免受电压和电流的冲击,并且可以远程控制。A412配有各种配件,以帮助自动化的过程。附件包括用于控制惰性气体的集成质量流控制器、用于控制供热元件交流电源的计时器继电器以及用于监测过程温度的高温计。该炉还具有可编程逻辑控制器(PLC),可用于自动化工艺参数,计算氢气浓度,监测压力,控制铅/锡浴温度。ASM A 412是一种高度可靠和高效的扩散炉,非常适合各种应用和工业过程。凭借其先进的功能、用户友好的设计和高质量的组件,ASM A412在生产中提供了准确且可重复的结果。
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