二手 ASM A 412 #9176794 待售

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ASM A 412
已售出
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9176794
Vertical LPCVD furnace Dual reactor.
ASM A 412是为高性能晶圆级材料设计的扩散炉及配件。特别是适用于需要快速沉积薄膜的应用,如高温超导体、MEMS器件、MEMS传感器、薄膜晶体管等。设备最高温度为1350 °C,允许进行高温处理。它易于配置,有多种用于炉罩、原料和安普尔的选项。ASM A412炉安装在包括便携式滚动车或紧凑型壁架的支架上。它具有多种自动安全功能,包括报警系统和如果炉温超出范围自动停止。炉子由不锈钢引擎盖保护,可以精确控制大气,防止气体泄漏。该单元可以被编程为控制大气压力,最多有七个独立的设定点,机器还结合了一套诊断功能,方便故障排除和维护。炉子可以定制几个配件。其中包括多段晶片持有者、安普尔和安普尔持有者,以及特种材料。碳化硅消声器允许晶片快速热处理,可调节加热速率高达50°C/sec。该工具包括一个双原子大气喷射器,可以精确控制气体流量。这样可以快速加热和冷却晶片。该炉还包括多种辅助设备,如热电偶资产、电子压力表和真空泵。集成热电偶模型允许精确控制排烟,并可用于监测炉和晶片的温度。压力表可以精确控制不同处理阶段的大气压,而真空泵则可以维持腔室内的高真空。综上所述,为晶圆级材料的高效、安全沉积设计了412型扩散炉及其附件。该设备具有广泛的自动化安全特性,可调节的大气压力,以及一系列辅助设备,以简化和优化晶圆的热处理。
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