二手 ASM A 412 #9176795 待售

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ASM A 412
已售出
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9176795
晶圆大小: 12"
Vertical LPCVD furnace, 12" Dual reactor.
ASM A 412是为半导体晶体生长应用而设计的扩散炉及配件。该炉配备了先进的自动控制型扩散源设备,允许精确控制扩散速率和温度。扩散炉还具有一个具有均匀加热系统和刚体设计的高耐火室。该炉能够在整个扩散过程中提供均匀的扩散结果。均匀加热装置确保腔室温度和气体流量在整个过程中保持一致。扩散炉还具有可编程的多区保护机,以减少污染和操作失误的可能性。该炉对晶片的装卸具有快速的响应时间,为用户提供了快速的周转时间。快速扩散过程还可以减少扩散过程的损失,提高产品产量。此外,ASM A412扩散炉的独特设计可以防止渗金或渗碳污染。该炉采用多功能真空室,可用于冷热操作。这种特性对于沉积材料层或在基板上制造多层系统特别有用。此外,真空室的设计允许快速疏散和快速的压力变化。该炉还具有各种各样的输入和输出配置,以适应不同的应用。它有多个用于控制气流和温度的端口,以及一些用于故障拍摄和控制的指标和警报。这允许用户调整过程,检查工具的状态,并更快速地选择进程。此外,A 412炉包括样品架、百叶窗、热电偶等多种配件,以有效控制和监测扩散过程。该炉包括热保险丝、水冷和组合指示器/互锁开关等多种附加安全功能。总体而言,A412扩散炉及其附件为半导体晶体生长应用提供了可靠、经济高效的解决方桉。该炉能够提供统一和可重复的结果,同时促进安全和高效的工作环境。
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