二手 ASM A 412 #9176796 待售

ASM A 412扩散炉是先进的扩散结合和外延生长技术的一种强大而可靠的工具。适用于各种应用，包括半导体器件制造、MEMS（微机电系统）器件、先进的工艺器件技术、先进的封装。ASM A412扩散炉配有水平排列、四区、稳态、真空控制垂直炉、4区、3000 W多晶热板和晶圆稳定机构。晶圆稳定机构保证晶圆温度的高均匀性，这是扩散炉的主要优点之一。炉的温度范围是从室温到1200 °C。温度稳定性可维持在0.1°C以内，温度均匀性通常优于0.5°C。炉子还配有各种特点和配件。例如，它有一个涡轮泵，以提高泵送速率，减少建立真空的时间，直到扩散过程前1E-4 Torr，以及允许在过程中精确控制压力和气体流动的气体开口和排气口。该炉还具有独特的反向旋转机构，以降低溅射蚀刻效果。端板可以容纳直径不超过8英寸的样本量。此外，该炉利用底部金属加热元件及其低温外延生长和氧化能力、特定传导模式沉积、辐射硬化和快速热退火以及激光辅助金属模式，提供了广泛的应用。总体而言,A 412扩散炉是先进扩散结合和外延生长技术的理想选择.它易于控制的温度和均匀性,坚固可靠的设计,以及广泛的特性和配件,使其成为各种应用的理想选择。