二手 ASM A 412 #9185404 待售

看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。

ASM A 412
已售出
扩散炉&配件
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9185404
晶圆大小: 12"
Vertical furnaces, 12" Dual reactors cure VDF: CU, PI WIP Module: Part number / Description 2945169-01 / Main frame WIP assembly 2379589-01 / Elevator chr 2947641-01 / Cassette stacker carousel 2944170-01 / Cassette transfer module 2947692-01 / Load port 2403641-01 / Pneumatic box 2947617-01 / WIP Flow box Reactor module (Base model info): Part number / Description 2330865-01 / Main reactor A412 frame assembly 2916177-01 / Reactor A412 top frame 2931303-01 / Reactor servo drive 2370387-01 / Reactor EMO / Motion 2931257-01 / BTC Box 2373718-01 / WTC Box 2909251-01 / R1 / R2 Controllers 2936550-01 / Reactor touchscreen 2327287-01 / Carousel bearing 2329999-01 / Carousel housing 2931222-01 / Carousel drive 2931109-01 / Reactor carousel 2379872-01 / Reactor fan 2936739-01 / A412 Gate valve 2997320-01 / Boat elevator A412 2972786-01 / Loader arm LP ROT 2936666-01 / O2 Analyzer reactor GEN 2366460-01 / N2 Purge generic 2330768-01 / TCU / TCF Generic 2330350-01 / VAC / PNEU Comp A412 Miscellaneous: Part number / Description 2895587-01 / (2) End effectors 242 CER 2927772-01 / N2-Purge 200 SLM assembly 2927810-02 / Reactor O2 analyzer 120 VAC 2405067-01 / Door opener 2nd GEN IC 2888025-01 / Transponder 2356341-01 / Press sens WHR single 2356333-01 / Press sens RC car Reactor chambers 1-2: Part number / Description 2995905-01 / Reduced exhaust ATM kit 2842939-02 / Process tube ATM NQ thin kit 2897334-02 / Door plate ATM LT H2 SS 2845644-02 / Wafer carrier NQ ATM 300 mm 2805847-01 / Thermocouples ATM BC 2954664-01 / Mount block FLG'S 2869764-01 / FLGS Proc / Door ATM MK 2806096-01 / ATM Scavenger purge 2864282-02 / Outlet no QTZ ATM H2-cure kit 2894564-01 / Heat exchanger RC1 / RC2 2996235-01 / Klixon heater element 2953927-01 / Heat ELEM ATM FR LT 2836343-01 / ATM Exhaust RC1 / RC2 120 V 2301652-01 / ELEC FLG'S ATM A412 2866048-01 / Heater outlet ATM 24 V 2955644-01 / GASP H2 Cure RC 1/2 2907860-01 / Intermediate H2 Cure RC 1/2 2310953-02 / INC GASL RC 1/2 901300 2865262-01 / H2 Sensing RC1 / RC2 2332108-01 / Pump TCU 2862255-01 / O2-Analyzer ATM H2 cure RC 1/2.
阅读更多 关闭
ASM A 412是一种先进的热处理工具，设计用于均匀加热扩散基板和相关组件。它可以加工直径不超过6英寸的基板,其热梯度±为3°C。热量由寿命长的管状加热元件产生，这些元件通过独立的能量控制系统运行。该机组设有预处理加热、均匀浸泡、曲线跟随加热、冷却速率控制等热处理功能。这种设备具有真空断裂功能，使炉子能够在扩散发生之前从基板表面排出空气或其他气体。当加热元件通电时发生扩散过程，这使得炉的温度提高到要求的设定点。然后将基材置于热区，以加快扩散过程。该装置采用垂直加载设计，可快速方便地进入基板，并在整个炉子内保持均匀的温度梯度。它还具有与加热室集成的空气冷却系统，这有助于显着减少扩散时间。此外，该装置还包括一个先进的石墨加热器，有助于保持所需的温度均匀性。为了保证最佳的安全等级，单位还有一个紧急开关。ASM A412扩散机是一种易于使用、可靠的工具，可用于各种扩散程序。它的灵活性使它成为那些需要快速、可靠和高性能热处理资产的人的绝佳选择。它兼具的特性确保了很好的效果，使其成为扩散处理业务中的一个很好的选择。
阅读更多 关闭
还没有评论