二手 ASM A 412 #9117000 待售

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ASM A 412
已售出
製造商
ASM
模型
A 412
ID: 9117000
晶圆大小: 12"
Doped poly vertical LPCVD furnaces, 12".
ASM A 412是专门为满足客户需求而设计的扩散炉及配件。本产品构造稳健,广泛应用于多种应用,如半导体制造、研发、产品设计等。它具有先进的热扩散机理,结合了电阻加热技术和石英绝缘,提供优异的热效率和均匀的温度。炉室采用石英管双线,允许温度均匀,热效率更高。它还包括温度精度和精度的热电偶。ASM A412的自动化运行非常适合大批量生产运行。由于该产品配备了分布式PID温度控制系统,可在整个操作范围内提供一致的加热,因此可实现精确的过程控制。它还配备了压力控制系统,可以稳定大气产生。此外,该产品还具有石英出口,用于释放挥发性材料。A 412的尺寸为1020 x 1420 x 890 mm,允许集成工作区优化。该产品还设有用于排出反应气体的排气口,以及用于收集沉积物的水冷钢墨盒过滤器。此外,A412与广泛的附件兼容,包括真空泵、导管、控制器和气体管理系统。为确保操作方便安全,ASM A 412扩散炉具有易于使用的键盘控制器,具有直观的界面和数字显示屏,允许用户监控和调整温度、真空和温度斜坡速率等基本参数。这款产品也是为安全而设计的,具有过温防护、保护操作员免受热辐射的钢制烤架以及手动关闭设置。ASM A412具有多种容量,是一种可靠、高效的扩散炉,专为满足客户需求而设计。
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