二手 ASM A 412 #9170221 待售

ASM A 412是一种用于半导体制造应用的扩散炉及配件。它是为掺杂剂扩散到晶片而设计的。设备配备了广泛的功能，以确保高效、安全和可重复的处理。炉膛由优质材料制成，并装有石英管，以防止过程周期中的污染。由四区恒温垂直加热系统加热。四个高精度加热器盒由独立的PID控制器控制,可确保可重复的温度精度（0.01°C） ±。它还配有一个冷却的上板，用于均匀的等温处理。ASM A412具有强大的自动化端点检测器,可确保准确检测端点,消除成品中的潜在缺陷。它还有一个带伺服电机的自动升降机平台，确保晶圆的一致装卸。电子控制面板提供了有关操作参数和安全的所有必要信息，使过程完全简单直观。412还包括一个坚固的真空装置。它能够在扩散室中维持较低的局部真空压力，允许精确和可重复的扩散过程。炉子配件包括自动预览机、冷却和排气工具以及惰性净化资产。这些部件保证了炉子的正常高效运行.A412是为提供优越的晶圆均匀性和产量而设计的。其精密的设计和技术使其成为高性能半导体制造工艺的理想选择。它具有多种功能、准确可靠的性能以及易于维护,是您进行扩散过程的理想工具。