二手 ASM ETW-450 #9200208 待售

ASM ETW-450是一种先进的扩散炉,用于将气体引入固体材料中.它是一种功能强大、用途广泛的工具，能够以固体单晶形式和薄膜形式将掺杂元素如砷和磷融入各种半导体材料的晶粒结构中。该系统由主炉单元、退火器和掺杂过程的关联腔室组成。炉膛内衬石墨绝缘，退火器装有石墨船底。通过空气循环确保退火器中的热均匀性。此外，该系统可以与热壁或冷壁式雾化器相连接，以提高掺杂掺入过程的效率。该炉可以单级或两级配置运行。在单级作业中，气体被注入炉子的热区，那里的温度达到1000摄氏度。然后将所得物质扩散到样品材料中。在两阶段作业中，气体物种首先注入温度达150°CAE的炉冷区。这将掺杂剂定位到样品的特定或多个热区。在达到所需的掺杂剂定位水平后，热区的温度升高到所需的操作温度，从而允许气体物质扩散到样品材料中。ETW-450配备了多种安全功能，以帮助确保安全的工作环境，如回填惰性气体控制、监测温度和压力传感器以及数字气体控制。总而言之，该系统是将掺杂元素沉积到半导体材料中的一种高效、安全的方法。它的灵活性,加上可靠的性能,提供了优异的效果,并确保了制造过程中的可重复性。