二手 ASM SP 32 #9136879 待售

ASM SP 32是来自ASM International的退火扩散炉。它设计用于半导体器件制造，具有先进的工艺控制，以优化工艺性能。SP 32上的离散级面板访问允许快速、精确地调整工艺参数。石英玻璃面板和内壁结合起来，减少了炉内的振动和热梯度，提供了整个工作室的均匀温度分布。大石英拼盘一次最多可容纳四个8"或三个12"或2 15"晶片，用于退火和扩散过程。内部风扇提供湍流气流，导致晶片的热轮廓改善和加热均匀。它还配备了多个气体通道，可用于气体输送或其他功能。此外，石英零件可重复使用，在腐蚀性环境下具有足够的耐药性，可以承受长时间的操作。内置的可编程控制器具有用于自动过程控制、监控和全周期管理步骤的手动和自动模式。此外，温度和操作参数可以保存在控制器中，以便于不同用户之间的共享。标准型号的最高工作温度为900°C，最大加热速率高达150°C/min。该炉还配有一个可选的快速冷却系统，以减少循环时间和便于加工热敏感基板。ASM SP 32配备了单轴自动加载系统，适合全自动化的连续批量运行。接入板经过专门设计，可最大限度地减少传热，最大限度地减少颗粒沉积，确保高质量的结果。SP 32内置了多个安全联锁,以防止发生事故并确保操作安全。总体而言，ASM SP 32是一种可靠且高度精确的工艺，可用于扩散、退火或氮化多种半导体底物。凭借其高性能的可编程控制器和各种访问面板，用户可以轻松编程、监控和控制整个过程，以获得卓越的性能。