二手 KOKUSAI Aldinna DJ-1206VN-DM #182677 待售

KOKUSAI Aldinna DJ-1206VN-DM
ID: 182677
晶圆大小: 12"
优质的: 2008
Atomic Layer Deposition system, 12" ALD: SiN 2008 vintage.
KOKUSAI Aldinna DJ-1206VN-DM是一个顶级的扩散炉和附件套件设计,使可靠和高性能的沉积和汽化过程。它具有4区设备,带有数字控制器,以确保精确的温度控制、气流和真空控制。内置的12英寸射频发生器允许许多材料的沉积,包括半导体器件型材料。扩散过程的高温相位是通过内置二向色反射器提供的多方向红外加热实现的,先进的高温计确保室内温度均匀。该炉还包含一个安全门,以及双壁真空室壁,以减少热量损失。该套件包括水冷凝器和升华器,以增强导电和绝缘材料的沉积。冷凝器和升华器都带有内置的三级冷却系统和温控风扇。该单元还具有双重生长机制,有助于一次沉积多层。它还提供了对所使用的气体溷合物以及室内压力的高度控制。数字控制器允许使用数据记录和计算机控制的用户定义进程,以及用于故障排除的事件报告。触摸屏界面易于使用,机器允许编程多达10种食谱,可以存储并转移到其他单位。Aldinna DJ-1206VN-DM还附带了一个完整的软件包和库,用于控制工具、收集数据和监视过程。总体而言,KOKUSAI Aldinna DJ-1206VN-DM是一个高度先进的扩散炉和配件套件,旨在提供一致的结果和卓越的性能。其4区资产和一系列功能使用户能够高效、精确地沉积和蒸发所有类型的材料。该模型具有完整的软件包、双增长机制和可靠的温度控制,是气相沉积和扩散的理想选择。
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