二手 RUDOLPH FE VII D #9097167 待售

RUDOLPH FE VII D
製造商
RUDOLPH
模型
FE VII D
ID: 9097167
晶圆大小: 8"
Film Thickness Measurement System, 8".
RUDOLPH FE VII D是为了表征薄膜和表面而设计的椭圆偏振仪。它同时使用宽带和单色照明来测量反射光的偏振程度。获取的数据随后可用于表征薄膜和表面,包括介电常数、层厚度和光学各向异性。RUDOLPH FE VIID具有高度先进的数字信号处理器和四个同步CPU,可同时在高达400nm波长的16个频率下进行椭圆偏振测量,并确保高精度和重复性。它有一个集成的软件包,允许用户轻松创建分析功能并获取可靠和准确的数据。它还支持多光谱成像,允许用户通过一次扫描收集完整的参数矩阵。FE-VIID坚固耐用的设计包括铝制框架、耐腐蚀的不锈钢基座以及安装偏振元件的专用表。紧凑的设计还可以方便地集成到现有的工艺和仪器套件中。集成包括各种接口(如WLAN和以太网),这些接口使远程数据收集和存储变得快速方便。RUDOLPH FE-VIID有几个可选的分析包,包括一个专用的膜应力包。此软件包为用户提供了椭圆偏振测量、图形表示和薄膜应力参数计算的独特组合。它还包括一个应力参数映射工具,非常适合大面积扫描和表征。最后,FE VIID采用软启动系统,大大缩短了测量样本所需的设置时间。此外,高度精确的样品定位和调整系统允许快速和方便的样品对准,大大减少了进行椭圆偏差测量所需的时间。
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