二手 AGS LC-RIEL-HT #9182875 待售
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ID: 9182875
晶圆大小: 8"
Reactive ion etcher, 8"
Assembly:
Console
Chamber
Electrode, RIE10 with He BSC
Vacuum, HT / CVG / TP4
Pressure control
Plasma source, RF6
Power
Interlocks
Harness with serial IO
Facilities
Controller
IG
TCUX, 10-50C
Toxic gas pod
(4) 3x100sccm, 1x20sccm, MFC (Standard)
(2) Toxics, MFC
Loadlock
Lifter
Wafer clamp
Wall heater
Platen / Graphite
Lecture bottle stick:
(2) HBr, BCl3.
AGS LC-RIEL-HT是专门为高通量、低成本的生产应用而设计的精密速度蚀刻器/分心器。它旨在快速高效地去除金属、塑料、玻璃、陶瓷等多种基板上的材料。LC-RIEL-HT是一种低成本、高生产率的解决方桉。AGS LC-RIEL-HT具有高达250W脉冲等离子体能量的额定功率,用于精确控制,非常适合需要高精度和快速蚀刻的应用。等离子体室的设计确保了均匀的速度蚀刻以获得一致的结果，并降低了基材不均匀蚀刻或烧伤的风险。该设备的低维护设计也节省了保养的时间和金钱。LC-RIEL-HT用途广泛，可用于多种材料和工艺，包括反应性离子蚀刻（RIE）、深反应性离子蚀刻（DRIE）、湿蚀刻、气相蚀刻（VPE）、化学机械抛光（CMP）和离子束铣削（IBM）。它也与各种不同材料的化学蚀刻溶液兼容。该系统还具有先进的安全功能,如过热和电源故障保护,以确保安全运行。该腔室设计用于保持低工作压力，以及提供出色的真空性能和污染控制。蚀刻单元还具有保护操作员的外部安全开关，以及放热反应警告。AGS LC-RIEL-HT具有功能强大、易于使用的控制面板。这台耐用的机器包括触摸屏面板和易于理解的菜单选项,并设置了用于快速准确蚀刻的参数。它支持多种基材尺寸，允许灵活装卸。此外，该工具还设计有可移动腔室，便于清洗和维护。LC-RIEL-HT是一种可靠且经济实惠的蚀刻解决方桉,适用于需要精确快速蚀刻的各种生产应用。它提供快速、准确的蚀刻、高吞吐量和低成本的操作。它易于操作和维护,并具有先进的安全功能以确保操作安全。
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