二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E #184115 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E是为生产先进技术元件而设计的高精度蚀刻器/asher。蚀刻器设有一个真空处理室，温度范围为0°至+800 °C，压力范围为0 mbar至1000 mbar，最大真空水平为1x10-4 mbar。ADIXEN 601E配有等离子体源，可用于极高精度的介电和金属薄膜的蚀刻和灰化。该蚀刻器提供等离子体源和腔室参数的精确控制，包括压力、温度、射频功率和射频/直流偏置功率。内置的可编程性还允许用户自定义蚀刻/灰分过程，以达到所需的效果。ALCATEL 601E蚀刻器的人体工程学设计使其易于操作和集成到生产环境中。PFEIFFER 601E提供了与蚀刻/灰分工艺兼容的原位清洁功能。这有助于减少清洁晶片之间的腔室所需的时间，从而实现更高效的工艺。此外，蚀刻器还配备了先进的安全系统，可保护用户免受辐射辐射的危险程度。601E蚀刻器是各种蚀刻/灰分工艺的理想选择,例如介电蚀刻/灰分、金属/介电蚀刻和灰分、硬掩模蚀刻和灰分以及氧化硅蚀刻/灰分。它能够同时处理150 mm和200 mm晶圆,从而能够以高精度对各种物体进行蚀刻和灰化。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER结合了先进的蚀刻和灰化工艺、人体工程学设计和安全特性,601E高科技元件生产的理想选择。