二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 602E #9144193 待售
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已售出
ID: 9144193
晶圆大小: 6"
优质的: 1995
Dry etcher, 6"
Volume production
Includes pumps
Cleanroom class: ISO 6 (LF ISO4)
(2) Chamber system with transfer chamber
(1) Dielectric-etch: CCP Coupled 13, 56 Mhz
Mask open etch and strip
(1) Deep temperature silicon etch chamber
With an ESC
Cassette to Cassette
Two etch chambers:
Kryo: Deep silicon
Harmask open
Running Sf6 at a very low temperature
Currently installed and stored in cleanroom
1995 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602E是一台最先进的蚀刻机/asher机,能够以最短的时间和精力对材料进行精密蚀刻和灰化。ADIXEN 602E被设计成一种高度可靠且功能强大的机器,具有方便的功能,使蚀刻和灰化过程比以往任何时候都更加容易。ALCATEL 602E具有高分辨率的石英晶体控制系统和不同形状和大小的电极选择。这允许在一系列材料中进行高度精确的蚀刻和灰化,例如玻璃、陶瓷和金属。PFEIFFER 602E还能够用不同的材料同时蚀刻和灰烬，这一过程有助于节省时间和精力。602E具有符合人体工程学的设计,可最大程度地减少操作员疲劳,并提供多种可调节的设置和选项。它还具有简单的用户友好用户界面和精确的数字显示,使操作员能够轻松监控蚀刻和灰化操作进度。此外，ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602E具有安全功能，有助于确保操作员和材料的安全。ADIXEN 602E配备了先进的PLC系统，对蚀刻和灰化过程进行全面的控制和监控。这样可以实现卓越的精度和统一的结果,同时保持高生产率。ALCATEL 602E采用耐用的钢架和耐腐蚀部件构成，非常适合要求苛刻的连续使用。总体而言,PFEIFFER 602E是一款功能极其强大的蚀刻器/asher,可轻松提供精确而统一的结果。它设计用于可靠和高效的操作,具有一系列可调节的选项和安全功能。602E具有高分辨率的石英晶体控制系统和全面的PLC控制，非常适合快速、准确地蚀刻和粉刷各种材料。
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