二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9173294 待售

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ID: 9173294
I- Speeder ESC with N2 liquid cooling SiO2 thin film etching, SiN, Si-DRIE, Pt sputter etching Manual load No atmospheric robot.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 蚀刻器/asher是一种精密工具,用于蚀刻或灰分到基板上。ADIXEN AMS 200是一种结合了预对准和边缘放置、蚀刻和灰化技术的全自动系统。它是一种完全集成的蚀刻或灰化解决方桉,具有无与伦比的精度和可重复性。ALCATEL AMS 200配备500瓦发电机和70毫米基板头,能够产生25至60毫米基板放置精度。基板头由Sigma 5压电电机驱动,这是一个精确的控制器,可确保基板的精确放置和对准。这样可以确保各种基板的精确度和一致性。PFEIFFER AMS 200具有自动预对齐功能,可将每个基板对齐到预定或编程的起点。此外,为确保严格公差,预对齐软件将基板头置于定义的紧密间隔内,通常在0.6mm以内。AMS 200还具有高精度600瓦对焦透镜,可提供极其均匀的高斯光束轮廓,用于蚀刻或灰化。镜头还允许各种焦距,以适应各种基材尺寸和材料。此外,镜头的垂直高度和角度可以调整,以匹配基板的高度。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200还包括一系列其他功能,以帮助减少基板损伤并允许快速周转。机器以半自动模式运行,这意味着操作员可以在灰化或蚀刻周期中使用蚀刻器。此外,绝热屏蔽包括在基板头,以减少温度波动和减少加工过程中的潜在损害。综上所述,ADIXEN AMS 200为用户提供了一个可靠、准确的系统,用于在各种曲面上进行蚀刻或灰化。它结合了预对准和边缘放置、蚀刻和灰化技术、高精度Focus Lens和其他功能。这使得ALCATEL AMS 200成为精密蚀刻或灰化应用的绝佳选择。
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