二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9123425 待售
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已售出
ID: 9123425
优质的: 2008
Etcher
(1) Chamber
Process: Deep silicon bosch
SF6, C4F8, O2, Ar, N2, He, CHF3
Brooks platform
Dual loadlocks
Magnatron 7
ALCATEL ACT 600M TMP
User interface PC
Transfer PC
Process chamber: AMS X200
ALCATEL ACT 1300M TMP
Process gases:
SF6 1000sccm
C4F8 400sccm
O2 100sccm
O2 800sccm
Ar 200sccm
N2 1000sccm
Ar
CHF3
EDM
CS200-11729
200 / 208VAC, 3 Phase, 50/60Hz
ALCATEL AMS X200
(2) SEMCO HV52000C
SEREN L301 RF
Advanced energy dressler cesar RF
ENI Spectrum B-3013 RF
200/208VAC, 3 Phase, 50/60Hz
2008 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200是一款高科技蚀刻器/asher,旨在满足大规模工业生产的需求。这种精确和全自动的设备确保了对样品和基板进行蚀刻和灰化的准确、可重复的过程。该系统采用集成的高真空过滤装置,以确保蚀刻和灰化过程中的清洁度。这台过滤机从气流中清除最常见的污染物,有助于防止样品的污染。此外,自动化工艺旨在保护操作员免受接触化学品的有害影响。ADIXEN AMS 4200使用先进的技术来确保高质量的蚀刻/灰烬工艺。内置的多区温度控制技术确保了加工室和气流的精确温度控制。这提供了准确和可重复的蚀刻/灰分结果。此外,用户友好的图形用户界面(GUI)使工具易于使用。ALCATEL AMS 4200提供了一个用户友好和直观的界面,提供了与蚀刻/灰烬工艺相关的所有参数的清晰概述。该资产还配备了多种安全功能。例如,内置的紧急停止机制可确保在发生任何与安全相关的问题时立即停止该过程。总体而言,PFEIFFER AMS 4200是一款顶级蚀刻器/asher。它的精确度、自动化和安全特性使其成为大型工业生产的理想选择。其用户友好的GUI和坚固的安全功能使其既安全又易于使用,使其成为一种用于蚀刻和灰化的实用产品。
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