二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR #9043921 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR是一种干法加工的asher，设计用于利用工艺气体蚀刻硅片。它结合了高性能等离子体蚀刻技术和获得专利的离子束驱动气体输送设备，对蚀刻过程提供精确的控制。ADIXEN GIR系统适用于处理直径不超过6英寸的晶片，具有先进的工艺管理系统，周期时间短。全自动过程控制包支持高级蚀刻过程。该软件包设计用于快速、精确和可靠地控制过程参数，例如过程气体的流过。高级诊断程序使设备能够快速检测任何过程干扰并进行校正,以确保沉积和蚀刻过程准确高效。ALCATEL GIR使用最先进的材料和组件构建。该腔室采用防反射玻璃制造，气体封闭，以达到最大安全。精心选择离子束源、真空泵、温度控制系统等机械部件，保证高质量可靠性能。在加工晶片时，PFEIFFER GIR工具能以最小的屈服损耗取得高效率的蚀刻结果。此外,该资产的设计便于维护和快速维修周期,从而减少了此关键过程的停机时间。GIR为制造高度先进的集成电路（ICs）提供了一个理想的平台,使其成为任何现代化蚀刻制造设施的重要工具。总体而言，ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR asher是一款先进的等离子体蚀刻器，旨在精确控制直径达六英寸的晶片的蚀刻过程。该模型将高性能蚀刻技术与自动化过程控制相结合，实现了高效可靠的处理。凭借先进的设备设计,ADIXEN GIR为蚀刻需求提供了可靠且易于操作的解决方桉。