二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR #9092919 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR是一种高真空干蚀刻设备，设计用于亚微米特征尺寸的先进工艺和反应性离子蚀刻（RIE）。该系统能够深入蚀刻至0.01mm,精确度高达0.1mm。ADIXEN GIR单元还具有一个带有四条气体管线的气体输送机,允许不同的过程组合,如O2/CHF3和Ar/Cl2。ALCATEL GIR工具包括真空室、插入装置、控制器单元和泵站。腔室装有至少一个涡轮泵和一个旋转叶片背衬泵，以达到10-6 mbar的所需真空水平。高性能的过程泵和涡轮分子泵浦资产一起保证了整个过程中均匀稳定的气流。插入装置允许将样品安全地放入腔室，并设计为避免污染真空室。过程气体流经控制器，该控制器结合并表征了每个存在气体的流速。然后将工艺气体送入喷射阀，该阀允许均匀的气体分配到工艺室内。GIR模型具有智能过程控制功能,可监视所有需要的参数,如温度、压力和可见性。使用直观的图形用户界面可以用不同的蚀刻配方对设备进行编程。此外，PFEIFFER GIR包括一台变频射频发电机，能够提供20瓦的原位射频功率来优化蚀刻工艺参数，以及一台用于精确计量和定位的3D扫描仪。最后，ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR蚀刻系统包括一个高级安全程序，以确保安全的操作环境。该单元内置温度超限探测器，具有自动关闭功能，并为安全相关功能提供额外报警。ADIXEN GIR还包括一个内部火焰探测器。综上所述，ALCATEL GIR是一款为亚微米特征尺寸蚀刻而设计的先进、高性能蚀刻机。它配备了多条气线，为准确、安全的蚀刻过程提供智能过程控制。