二手 AXIC Multimode HF-8 #107384 待售

AXIC Multimode HF-8是为满足硅基材料的严格要求而设计的聚酰亚胺蚀刻/asher。它利用射频、等离子体和反应性离子蚀刻（RIE）工艺的组合，实现蚀刻选择性和高蚀刻速率。这种多模式蚀刻/asher能够提供快速、均匀、可靠且质量卓越的工艺。该设备提供均匀的等离子体和RIE工艺，具有广泛的蚀刻化学和基材选择。利用NF-8的扫描系统和精密机械阶段,还可以在最少的工艺步骤中蚀刻各种材料和深度。同样高效的排气装置为更可靠的工艺提供了卓越的清洁和颗粒控制。高性能的自动装卸机最大限度地减少了总循环时间，提高了生产率。除了NF-8的等离子体和RIE过程外，该工具还提供了一个过程中的终点（EP）监视器。此功能使蚀刻器能够检测到蚀刻过程的确切完成,从而防止成本高昂的过度蚀刻。多模 提供各种臭氧蚀刻化学物质以及各种RIE化学物质，如 、 、SF6和 ，使资产用途极为广泛。模型中的其他功能包括集成冷却设备、图形用户界面和全自动排气系统。AXIC Multimode HF-8在扩展的蚀刻参数范围内为用户提供了可重复性和可靠的蚀刻性能。它还提供了一个简单的用户界面和自动化设置,可缩短处理时间并提高多个蚀刻周期的准确性和一致性。总体而言,Multimode HF-8是一种用途非常广泛的蚀刻器和asher,可用于任何需要快速、精确和可靠蚀刻结果的应用程序。AXIC Multimode HF-8由于其可靠的性能、卓越的多功能性和易用性,非常适合从蚀刻多级集成电路到封装和MEMS的广泛应用。