二手 LAM RESEARCH 4240 #146147 待售

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LAM RESEARCH 4240
已售出
ID: 146147
晶圆大小: 8"
Poly etchers, 8", de-installed.
LAM RESEARCH 4240 Asher是一种革命性的蚀刻解决方桉,专为先进的半导体生产环境而设计。4240具有优越的加工参数,能够实现更精细的几何形状、更高的产量和大大提高的吞吐量。LAM RESEARCH 4240利用多种技术取得优异的蚀刻成果。其中包括独立控制温度的排气和腔室、确保整个晶片均匀性的内部稳定器,以及主动热清洗。这使设备能够达到极端蚀刻速率,而不会影响关键参数,例如临界尺寸(CD)和介电故障。4240系统采用先进的3区线圈输送装置。这台机器在整个晶片上确保恒定的各向异性和均匀性,即使在更高的蚀刻速率下也是如此。此外,这种线圈输送工具还有利于整个腔室的统一温度控制,使蚀刻过程一致且高效。这也有助于减少介电故障,并最大程度地减少对后处理调整的需求。LAM RESEARCH 4240还利用多个高级控制器保证精确蚀刻结果。其中包括PID温度控制器、自适应频率控制器和高级压力密度控制器。资产还使用自动旁路过程来最大化吞吐量并防止介电故障。总体而言,4240 Asher是一款功能强大的蚀刻解决方桉,非常适合先进的半导体生产。其先进的特性和优越的工艺参数使其能够实现令人难以置信的精细几何形状和高产率。此外,其强大的控制器和3区线圈传送模型可确保整个晶圆的均匀性,而其先进的旁路过程则使其能够提高吞吐量,并最大限度地减少对后处理调整的需求。
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