二手 TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP-2055 VV #122877 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP-2055 VV是一种蚀刻器/Asher,专为需要高精度和高通量的应用而设计,用于蚀刻和灰化最高质量的结果。这是从SiO2和SiN等材料到金属各向异性蚀刻、绝缘材料和半导体材料等各种样品的理想设备。金属/硅基板上抗蚀剂的蚀刻/灰化也可根据应用进行。TEL Telius SP-2055 VV具有气流系统，具有多级泵送单元和可以调节以提高加工速度的气箱。具有持续精度的真空控制允许在腔室中以最高4.41 mbar的速度13.9L/min驱动。它还有一个自动压力控制（APC）机器，允许在必要时调整压力水平。该工具还具有自清洁涡轮分子泵，再生周期时间为1-9分钟。TOKYO ELECTRON TELIUS SP-2055 VV还拥有先进的晶圆温度控制资产，工作范围在-40°C，晶圆温度限制在100°C。其改进的冷却模式允许操作员调整腔壁的冷却速率，在需要时延长蚀刻工艺时间。Telius SP-2055 VV还具有一个精密蚀刻器/asher，带有负载锁定设备，允许晶片在样品支架上的定位，而无需打开炮塔门。这样做是为了防止更换晶片时样品受到污染。其广泛的软件为设置和监控参数提供了一个易于使用的用户界面。采用恢复性自动清洗系统也减少了设置时间和样品加载时间。TEL/TOKYO ELECTRON TELIUS SP-2055 VV专为高精度、高通量、最高品质的结果而设计。其特点是具有多级泵和可调性能的气流单元和具有稳定精度的真空控制机。它还具有改进的晶圆温度控制工具和冷却资产，以延长蚀刻时间。精密蚀刻器/asher还有一个负载锁定模型和一个自动清洗设备以及广泛的软件自动设置和监测。