二手 AUTOMATECH Altix #9195164 待售

AUTOMATECH Altix是专为半导体晶圆处理而设计的高性能自动曝光设备。该系统配备了优化的高精度翻译阶段，以创建复杂的三维结构，精确精确，无需人工或直接操作员干预。Altix拥有完全可变的曝光设置,以获得最大的灵活性,同时产生一致的结果和出色的线条清晰度。其专利自载机制旨在减少暴露时间，最大限度地降低损坏风险。AUTOMATECH Altix的光学单元维护不善,可确保光输出在各种操作条件下的均匀性。该机器具有广泛的空间频率和角度分辨率-宽带光谱曝光为0.2 µm至0.95 µm,带宽曝光为0.85 µm至10.5 µm。这使操作员能够精确准确地控制个别曝光的能量和位置。曝光工具直观易用，具有多种操作模式和用户友好的图形用户界面。它还能够进行以太网和IEEE-1394网络通信,并且可以集成到自动化生产系统中。该资产包括预先存储的掩码图样,以提高工作效率,并具有用于直接反馈和评估掩码以及抵抗图像的高性能CCD摄像头。Altix设计紧凑,占地面积很小,可轻松集成到现有生产系统中。它需要最低限度的监督才能最大限度地提高生产率,并且可以编程为在自动化过程中工作。此外，由于其专有的空气轴承设计，这种模型可以应用到各种各样的基板不干燥或清洁。AUTOMATECH Altix非常适合处理各种不同应用的基材，包括蚀刻、沉积和部分晶圆制造。高精度的曝光和优异的质量使其适合用于先进的高端半导体生产过程。总体而言,Altix是那些需要卓越结果、要求高可靠性、准确性和速度的用户的完美解决方桉。