二手 USHIO UMA-802-H600NP #9128577 待售

USHIO UMA-802-H600NP
製造商
USHIO
模型
UMA-802-H600NP
ID: 9128577
晶圆大小: 6"
优质的: 1996
UV curing system, 6" 1996 vintage.
USHIO UMA-802-H600NP是为光刻工艺设计的曝光设备。它是一个高度可靠的系统,能够提高吞吐量和最小缺陷。它利用深紫外线(DUV)180 nm光刻和曝光工艺,以生产和转移图样到基板上。该设备具有大型扫描级,允许扫描最大尺寸为690x580mm的大型基板。UMA-802-H600NP能够在各种微加工技术中产生高质量、功能丰富且错综复杂的模式。该机配备了直接发光灯,还具有多种镜头配置和场能,使用户能够实现最精确的结果。该机采用激光接口矩阵对准标记,在模式传输过程中提供了无与伦比的精度水平。激光接口矩阵对准标记与高精度编码器和长期曝光监视器结合使用,以确保创建的部件符合规格。此外,USHIO UMA-802-H600NP还配备了静态压力工具和获得专利的4点安装资产,使用户能够实现统一和精确的曝光,并随着时间的推移实现高度的一致性。这样,模型保证了客户在光掩模制造中的需求得到充分满足。曝光设备还配备了自动往复式晶片装载系统,从而提高了生产率。此外,UMA-802-H600NP还设计了8英寸平板显示器,以及具有直观图形用户界面(GUI)的软件,使设备的操作变得简单易行。机器还提供各种可定制的用户设置,以提供优化的用户体验和灵活的操作条件。此外,设计独特的电源即使在功耗波动很大的环境中也能确保可靠的运行。USHIO UMA-802-H600NP是一种最先进的曝光工具,可为用户提供可靠的操作和一致的结果,用于各种光刻应用。通过结合先进技术,资产有能力在各种微加工技术中产生精确和复杂的模式。
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