二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 9500xR #9202423 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS/AKT 9500xR是为商用、半导体和研发应用而设计的高性能离子植入器和监控设备。它包括一个功能强大的高端离子沉积系统和一个实时的非接触式离子监测器，以确保物料的均匀层。该单元支持各种植入气体类型和能量水平，以适应任何应用。AKT 9500xR配备了一条多能量光束线，最多有12条光束线和两个独立的网格，可以容纳多个植入层。栅格在晶片表面提供均匀的同时植入。植入物气体种类和能量水平可根据预期结果进行调整。脉冲宽度也可以调整，以适应特定的工艺要求。对于快速、均匀的植入和层形成，AMAT 9500xR具有最先进的数字控制离子监测器。监测器连续测量样品表面上的离子量，确保剂量尽可能均匀。该监视器还可自动在多个基板上进行均匀植入。9500xR旨在提供对流程参数的精确控制,允许用户精确设置和控制所有关键流程步骤。它拥有先进的用户界面，带有液晶显示屏和可选的触摸屏技术。该接口可编程为显示真空水平、基板温度和离子监视器读数等相关条件。APPLIED MATERIALS 9500xR旨在提供一致、可重复的过程结果。它还有一个自动化的流程记录器模块和一个可选的作业列表机，可用于存储多个配方和重复精确的流程。还可以通过添加传感器和气体供料等附件来定制工具以满足特定的客户要求。最后,AMAT/APPLICED MATERIALS/AKT 9500xR得到AKT技术支持和客户服务的支持。