二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9172233 待售

AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus
ID: 9172233
晶圆大小: 12"
High current ion implanter system, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus是一款高级离子植入器和显示器,旨在优化半导体器件性能。它是专门为帮助设计半导体基板以达到最大电路性能而量身定制的。AMAT Quantum X Plus包含了许多功能,允许卓越的性能和对植入过程的控制。该设备包括一个完全集成的粒子加速器,能够实现高达240 keV能量的离子,从而能够高精度地植入硅基板。此外,该系统还采用集成精密光学对准和载波卸载装置进行设计,以实现高效、精确的核心对准,从而获得最佳的植入性能。该机可与AMAT植入哨兵II工具集成,测量植入的精确角度。该工具能够利用不同的口罩和高精度和精确度来确保完美的对准和植入。APPLIED MATERIALS Quantum X Plus还配备了先进的Ultra-Sense植入和监控技术,使操作员能够通过实时控制和监控所有关键植入参数来提升设备性能。Quantum X Plus上的氮冷磁控管源具有卓越的自动啮合能力,提供业界最高的植入角度。这允许精确的植入物角度细到0.2毫米和高度可调的轮廓允许非常细粒度调整离子束能量和角度分布。AMAT/APPLICED MATERIALS Quantum X Plus可用于从硅到砷化的多种材料,并能提供其他工具提供的非常精细的颗粒掺杂和去除剂量。AMAT Quantum X Plus是一个完整的工具,旨在提供卓越的设备性能和控制。该资产包括一个强大的光束控制模型,具有离子束轮廓和通量监测功能。此外,APPLIED MATERIALS Quantum X Plus还包含一些其他功能,如实时过程监控、离子束功率和光束位置控制、显式植入物速率调节以及光束调制功能。这些功能有助于设备自动化植入过程,确保高质量植入,减少周转时间。Quantum X Plus是一款功能强大且用途广泛的离子植入器和监控工具。该系统以集成的粒子加速器、精确的光学对准以及先进的超感植入和监控技术,设计出最佳的半导体器件性能。它允许操作员控制和监测各种植入参数,以便更准确可靠地植入,并且能够植入各种材料,包括硅和砷化移量。这是一个伟大的选择工程师寻求优越的设备性能和控制他们的植入过程。
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