二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9185368 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus
已售出
ID: 9185368
晶圆大小: 12"
优质的: 2005
High current implanter system, 12" Single wafer Energy option: LEAP Ultra low (0.2-80 keV) Stand-alone system enclosure Signal tower: Front / Back tool Processor: ISPM Processor Isocentric scanner Beamline: Ultralife QX+ ion source G1 Electrode: Graphite Gas panel box: Argon system and gas purge TEM Vacuum: LEYBOLD Turbo pump (3) Cryo pumps SPECTRA Residual gas analyzer (RGA) MMTX Transformer Gas panel: 8-Position: AsH3, PH3, GeF4, BF3, SiF4, CO2, 2-Blank Wafer loader: 4 Station SEMI standard wafer loader Hermos tag reader SEMI E84 OHT PIO Kits Low backside particle vacuum end effectors 2005 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus是一款最先进的离子植入器和显示器,旨在帮助制造商实现最优质的离子植入。该设备通过其获得专利的离子输送和控制设备、精确的能量水平设置以及在线监测剂量率,提供了卓越的性能。它还提供了更高的系统可靠性和鲁棒性,以及比传统离子植入器更好的性能。AMAT Quantum X Plus'离子输送单元允许将离子输送到非常精确控制和精确测量的目标底物。这台机器采用了四极设计,使离子能够聚焦并精确地对准目标基板。这确保了离子被精确地定向到需要它们的地方,并达到所需的浓度。此外,APPLIED MATERIALS Quantum X Plus利用可调节的能级设置,确保离子以所需的能级进入目标基板,从而更好地控制植入过程。Quantum X Plus的在线监测工具使得能够实时监测剂量率和底物覆盖率。这确保了离子植入过程在进行过程中得到优化和监测。它还为制造商提供关于使用不同植入剂量和能量水平的有用信息,使他们能够在需要时对植入过程进行必要的调整。AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus优越的冷却资产进一步增强了其鲁棒性。制造商在设备中部署了先进的冷却器,这些冷却器旨在保持设备温度降低,确保离子在植入过程中保持聚焦和稳定。该装置还采用了独特的主动移位模型,继续监测手术期间的剂量率和底物覆盖率,使植入过程保持稳定和准确。总之,AMAT Quantum X Plus是下一代离子植入器和监视器,提供了改进的性能,更高的设备可靠性和鲁棒性,以及精确的能量水平和剂量率监测。它的离子输送和控制系统、可调能级、在线监控、强大的冷却单元等各种组件,都有助于优越的离子植入过程。
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