二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X Plus #9194446 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X Plus是一种下一级离子植入设备,旨在提高设备制造中要求最苛刻的应用的吞吐量和准确性。AMAT Quantum X Plus利用其高效的植入引擎,提供了基于经验的快速精确的离子轨迹预测,从而在高级设备体系结构中实现了更好的电荷状态分布。APPLICED MATERIALS Quantum X Plus以其前辈Quantum和Quantum II的成功为基础,获得了更高的工艺室级可靠性,并提供了更高的强度,以获得更好的结果,并具有较小的闸宽。该系统在设计时考虑了灵活性和精确度，使操作员能够进一步优化其工艺参数，从而在制造下一代半导体器件时达到高性能效果。Quantum X Plus利用先进的双光束单元，既有单能量光束，又有鸣叫光束，可以控制能量和剂量，同时保持均匀的剂量率或所需的轮廓。该机能以高达350 KeV的能量运行，具有100至2000的质子束电流范围。复杂的剂量剖面可以通过多达11个倾斜轴向台阶和8个倾斜返回轴向台阶轻松编程到工具中。AMAT/APPLICED MATERIALS Quantum X Plus具有电荷底物偏置资产，以确保无论其初始电荷如何，离子在底物的每一点均匀沉积。该车型还配备了无冻原、水冷的冷冻室。这个先进的腔室减小了组件的大小和数量，为实际的植入器腔室节省了宝贵的空间。此外，多轴离子辅助喷嘴增加了预定义的离子，并设计用于增强控制操作。设备还配备了先进的监控系统。AMAT Quantum X Plus显示器能够实时收集数据,允许用户在尽可能短的时间内跟踪进度和故障排除。此监视器还提供端帧监控、压力配置文件和流体管理等功能。APPLIED MATERIALS Quantum X Plus还配备了一个传感器阵列，使其能够在潜在问题发生前进行检测。此外，系统的控制系统为晶圆映射和工艺优化提供了强大的过程控制和软件。所有这些进步使Quantum X Plus成为改进设备制造过程的强大而可靠的仪器。它简化更换和维护可显着减少停机时间,从而提高生产效率、提高流程灵活性和降低拥有成本。它是设备制造的终极单元，是先进设备制造应用的必备设备。