二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X #9181010 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum X
已售出
ID: 9181010
晶圆大小: 12"
Implanter, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X是世界领先的离子植入器和监控设备。AMAT Quantum X结合了先进的离子植入技术和卓越的成像解决方桉,产生卓越的设备性能和可靠性。该系统优越的过程控制确保了一致的结果,而其先进的成像功能提供了详细的过程监控以改进结果。应用材料量子X具有先进、高效的离子源,产生包括砷、硼、氮和磷离子在内的多种离子。这些离子可实现高达16级的植入,并减少植入时间,从而提高吞吐量,提高设备性能。该设备还具有一个专利的多光束扫描机,提供植入过程的精确控制。其先进的射频偏置和能量数据库工具确保在整个植入过程中动态优化离子轨迹和束电流。与旧型号相比,这确保了更高的准确性、重复性和吞吐量。量子X的集成监控资产提供了对离子植入过程的准确控制。它具有记录植入过程实时图像的高分辨率图像传感器,提供了光束电流、能量、脉冲宽度和其他重要过程参数的易于解释的图形表示。它还包括一个用户友好的图形迭加模型,允许用户轻松分析和优化过程参数以产生最佳结果。该设备旨在与各种外部产品连接,并具有确保遵守行业标准的各种安全和安保功能。这使得AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum X成为植入过程中不可或缺的工具,从研发到大规模生产。总而言之,AMAT的AMAT Quantum X是一种高度可靠、先进的离子植入器和监控系统,能够实现优异的设备性能和可靠、可重复的植入效果。其先进的射频偏置和能量数据库单元确保最优离子束参数,而其集成的监控机器提供精确的过程控制。最后,它的安全性和安全性保证了操作员的安全和合规性.
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