二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Quantum #9187369 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Quantum是一种离子植入器和监控器，用于半导体工业。用于在制造过程中将离子植入半导体材料，以达到所需的电性能。该设备能够植入深度达48厘米的离子，可用于各种半导体工艺，包括离子植入、快速热退火和类似金刚石的涂层。AMAT Quantum可以植入半导体技术中使用的大多数常见离子，如硼、磷、氮、氧等。它具有可调束能量和可调束电流，可以赋予能量在0.1到10 MeV之间的电子。植入器还可以处理高温退火过程，温度高达1000摄氏度。APPLIED MATERIALS Quantum也作为监视器来监视植入过程。系统监视诸如光束电流、光束电压、光束点尺寸和光束尖端尺寸等参数。它还有一个多通道信号采集单元，用于测量植入的离子。此外，它还可以测量离子电荷状态，允许用户相应调整植入参数。量子极为人性化，具有2-D视图端口，允许实时观察植入过程。植入器还具有直观的图形用户界面，便于操作和监控。该机采用现代数据采集和分析技术，实现了植入过程的精确测量和控制。总体而言，AMAT/APPLICED MATERIALS Quantum是一种先进且功能强大的离子植入器和监控器，可用于各种半导体生产过程。它提供了可调的波束能量和电流，以及多通道信号采集和监控系统，允许用户在植入过程中拥有最大的控制和准确性。它还具有直观的图形用户界面，便于操作和监控。