二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Solion XP #9171472 待售

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ID: 9171472
优质的: 2015
Phosphorus ion implantation system 2015 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP是一款先进的离子植入器和监视器,允许用户快速准确地处理各种材料。AMAT Solion XP以AMAT旗舰离子植入器Solion 200的成功为基础,提供了更高的处理速度和准确性,同时也提供了高水平的自动化。APPLICED MATERIALS Solion XP可以处理多种材料,包括金属、塑料和半导体。该设备采用多室概念,对材料进行高效、一致的处理。该过程的第一步发生在装载室,在该室将物料装载到系统中。然后将材料运送到电荷交换室,在该室使用聚焦离子束将材料转移到烤箱室。然后用烤箱室加热材料,以形成植入层。一旦植入物层形成,材料被运送到植入物室,在那里离子束传递规定的剂量。单位在整个过程中监测植入物层的剂量和厚度。通过在线显示面板提供反馈,并且可以根据不同的材料和厚度要求调整工艺配方。Solion XP高度自动化,用户可以使用网络设置远程输入数据。AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP具有离子源和高分辨率能量分析仪。这为简单的材料跟踪提供了准确性和稳定性,并改进了工艺结果。光束光栅装置也可用于减少光束聚焦变化并确保均匀植入。晶圆穿梭机还允许用户在不同晶圆之间轻松切换,以实现快速高效的处理。在安全性方面,AMAT Solion XP有内置的安全工具。该资产利用机电联锁和电子锁定系统,旨在保护用户和模型。此外,已对APPLICED MATERIALS Solion XP进行了测试,以满足低浓度的脱气气体,设备的清洁室已通过若干行业标准认证。总体而言,Solion XP是一款先进的离子植入器和显示器,非常适合各种应用。AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP凭借其高分辨率的能量分析仪、改进的工艺结果精度和整体安全性,是一个可靠高效的系统,为用户提供前所未有的控制和性能。
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