二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Solion XP #9171473 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP是一种离子植入器和监视器，可以改进过程控制和更高效的植入。它利用一个专利的宽扫描水平磁控管离子源，保持稳定的输出范围在整个植入物范围内导致mroe一致的剂量控制。AMAT Solion XP是多耗尽和高剂量率系统以及连续可变剂量率应用的理想选择。该设备还允许多个离子剂量的应用，允许精确的剂量率和均匀性。APPLICED MATERIALS Solion XP的自动化控制功能包括用于评估光束特性的光束特性监视器,包括光束质量、污染程度和光束轮廓。光束电流监测系统允许以0.2纳米安培/cm2到更高电流的速率精确控制植入物剂量。利用这些传感器，Solion XP可以自动编译一组光束参数，如偏转器设置、光束电流和光束发射强度。离子植入器采用先进的光束扫描装置和多轴偏转器，提高了均匀性。为了提高安全性，AMAT/APPLIED MATERIALS Solion XP使用紧急停止和故障安全机器在紧急情况下关闭光束。它还有一个内部真空泵，有助于降低污染水平。作为附加的安全功能,AMAT Solion XP包括一个光学互锁工具,可在打开机柜时关闭光束。APPLICED MATERIALS Solion XP包括全系列的自动温度和压力控制系统，包括PID控制的加热器、自动零压力调节器和温度控制器。气流控制资产可以提高植入重元素的精度，并在延长植入时间内保持光束。除了离子植入功能外,Solion XP还包括其他功能,可进一步增强其过程控制和生产率。核监测模型与辐射屏蔽和安全机制相结合，以检测低能X射线辐射。此外，AMAT/APPLICED MATERIALS Solion XP提供了评估腔室部件性能和评估植入物质量和均匀性的诊断能力。与光束监测系统紧密耦合的射频监测设备监测植入的能量水平，而实时数据记录系统和批记忆记录单元则确保所有植入参数的准确记录。总体而言，AMAT Solion XP的先进特性使其成为改善离子植入过程中剂量控制、均匀性和安全性的理想选择。