二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Vista 810 #9187815 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS Vista 810是一种离子植入器和监控工具，专为高级半导体处理而设计。它是一种高效、准确的设备，用于将掺杂剂植入硅基板，并提供实时的过程控制。AMAT Vista 810配备了氮气（N2）、膦（PH3）和硅烷（SiH4）三气源植入底物。它还利用具有两个微型法拉第杯的高精度光束电流测量设备，能够达到电流分辨率和灵敏度高达0.5pA，从而能够精确控制离子密度、角散度和横向扩散。此外，由于其高达50mA的高平均束电流，与传统植入物相比，它可以以明显更高的剂量率运行。APPLIED MATERIALS Vista 810还具有自动化晶圆处理系统和集成激光散射计（LSC）单元,可提供高度精确的实时过程控制。LSC机器允许用户在层深、均匀性和轮廓精度方面监控植入过程。此外，它还包括一个集成的多通道数字整形工具，能够精确控制能级、剂量和植入物角度。Vista 810还具有高级分析工具,例如数据归档资产和流程建模手段,以便用户能够准确预测和监控机器性能。这种全面的数据分析允许用户优化层深、均匀性、轮廓精度和污染,而基于模型的集成控制模型则确保了最佳的机器性能。总体而言,AMAT/APPLICED MATERIALS Vista 810是一款极其精密、可靠且精确的离子植入器和显示器,专为高级半导体处理而设计。它提供卓越的性能和令人印象深刻的一系列过程控制功能,使用户能够准确地植入掺杂剂并监控植入过程,其结果具有很高的可重复性和可靠性。