二手 AMAT / APPLIED MATERIALS xR80 #9197630 待售
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ID: 9197630
High current implanter, 8"
P/N: 0240-94906
Main system: xR-Leap
SMIF System: LPT 2200
Hardware configuration: NOVAPURE Effluent gas scrubber EGS-237
Automated control system
MOTOROLA 68040 Processor (VME) with fiber optic isolation
Automatic recipe controlled: 0°-7° (Tilt operation)
IHC Source (Module and control)
Leap II Beamline
HDPFS
Tetrode extraction assembly
Dual extraction PSU
Ion source with G2 extraction
Leap II control chassis and leap II beam stop
Dual range analyzer mag PSU
Leap II source chamber exit aperture
Wafer orienter: Notched wafers
Low metal contamination
Silicon coated spoke process wheel with active wafer cooling
Vacuum load lock compatible with robotic loading systems
Automated cassette - cassette handling with slot integrity ((3) Cassette trays, 8")
(2) Light-pens, 17" SONY color terminals
Closed loop Dl water cooling system
Cryo compressors located remotely
Mains matching transformer
Rear cyro pump lift
Peek scan cover
Arm position sensor kit
Wafer handling and wheel, 8"
4 Position SDS gas box
CT 110" Onboard cryos with CTI 9600 compressors
LEYBOLD Turbo pumps
SECS II Host computer interface
Cooling system: Heat exchanger / Closed loop de-ionized water cooling system
Wafer loader: (3) Carousel paddles
Wafer orients: Batch notch orient
Wheel chamber: (17) Heat sinks, 8"
Control system: Fiber optic communication network
Control module: VME Microprocessor
Plasma flood gun: HDPFS
Beam line: IHC
Gas panel option: SDS Toxic gas modules for AsH3 and BF3
Tilt: Variable implant angle, ±10°
Hard disk: 4 GB
RAM: 128 MB
CIM Linked
1996 vintage.
AMAT/APPLIED MATERIALS xR80是用于制造半导体材料的离子植入器和监测器。它被设计为提供精确和可重复的离子植入与各种各样的底物，从硅，的，和砷。AMAT xR80是一种高精度、高通量的离子植入设备,具有高度的灵活性,可适应一系列客户应用。APPLIED MATERIALS XR 80的主要部件是其离子源，既能进行单束植入，又能进行多束植入操作。这允许用户在保持高度精度和精确度的同时，最大限度地提高离子束吞吐量。此外，离子源的功率范围可以达到80kV。有了这个功率范围，AMAT XR 80可以植入能量水平非常精确的离子。XR 80的离子束输送系统是为保证高精度和精确度而设计的。这是通过使用自动光束对准、光斑尺寸调整和激光光束分析系统来实现的。利用这些特性,无论植入的基板材料如何,APPLIED MATERIALS xR80都能保持非常精确的光斑尺寸和光束对准。AMAT/APPLIED MATERIALS XR 80还包括内置的敏感束电流监测器和离子剂量监测器。这允许用户实时监控其离子植入过程，确保准确性和可重复性。XR 80还配备了先进的安全装置,包括低能量截断、光束中断和运行结束报警器,以保护过程和被植入的基板。这使得AMAT/APPLIED MATERIALS xR80半导体制造的绝佳选择，因为它可以为植入离子提供安全和受控的环境。此外，AMAT xR80带有直观的图形用户界面，方便用户对机器进行编程和维护。该软件允许用户执行快速计算、优化配方以及访问相关数据历史记录。这使得APPLIED MATERIALS XR 80成为一种非常用户友好的工具,可以轻松集成到现有的制造过程中。总而言之，AMAT XR 80是离子植入器的绝佳选择。它具有高度的精确度和灵活性，为用户制造半导体材料提供了可靠、安全的工艺。通过直观的图形用户界面和强大的安全功能，确保了高水平的可重复性和可靠性。它能够容纳各种基板，使其成为一系列应用的理想工具。
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